Sert ve kırılgan malzemeler için hassas lazer kesim makinesi esas olarak seramik, safir, elmas, kalsiyum çeliği, tungsten çeliği, alüminyum nitrür, silikon nitrür, galyum arsenit ve diğer malzemeler gibi yüksek sertlikte ve yüksek kırılgan malzemelerin lazerle mikro işlenmesinde kullanılır.